ICP-MS=ICP+MS: 是一門將ICP高溫電離特性與四極桿質譜儀的靈敏快速掃描的優點相結合而形成的一種新型的元素和同位素分析技術。它提供了最低的檢出限、最寬的動態線性范圍，干擾少、精密度高、分析速度快，可進行多元素同時測定以及可提供精確的同位素信息等。

ICP(電感耦合等離子體)高溫離子源( 10000k)。在ICP過程中，樣品霧化、蒸發、解離、原子化、電離，最終轉化為元素離子。然后通過錐接口和離子傳輸系統，進入質譜。

MS(質譜)如四極桿質譜、磁質譜和飛行時間質譜等，可以快速掃描分離所有離子，元素質量數從6到250，然后通過雙通道離子檢測器檢測，線性范圍可達9個量級(ppt 一ppm直接測定)。此外，ICP-MS還能提供精確的同位素信息。

1等離子體火焰是氣體放電形成，并不是化學火焰.

2等離子體是高頻(27MHz)電感偶合線圈所致的振蕩磁場中自由電子形成.

3能量通過碰撞傳遞給Ar分子，產生近10000k的溫度.

4樣品氣溶膠進入后，產生解離，原子化和電離，轉變為分子、原子、正離子、負離子、電子、光子等不同粒子的氣態混合物，形成特殊的物質第四態--等離子體(plasma)。
在每一點處，正離子和負離子的濃度大體上相等，混合物整體來說是準中性的。

5特點:多數元素可完全電離(>99%)

6接口:由前后兩個錐組成，分別叫采樣錐和截取錐，錐孔分別為1 mm和0.4mm。由于錐兩面存在壓力差，因而載氣流會攜帶著離子進入真空系統。

7采樣錐錐孔較大，這是為了減少金屬氧化物的形成;截取錐錐孔較小，以進一步減少進入真空系統的離子量。

8錐的材料一一般為Ni,因為Ni具有高熱導性能。而且比較結實耐腐蝕，成本也較低。除此之外，還可用Pt。

9進入真空系統的離子有足夠長的平均自由程，得以被靜電透鏡提取和聚焦。第一級靜電透鏡(提取電極)被加以負電壓，這樣它們就能提取正離子，并將它們傳送到下級透鏡中去，負離子及中性粒子都將被真空泵抽走。在此系統中還有一個光子擋板，以防止光子進入質量分析器。

10離子通過離子透鏡，進入四極桿質量分析器，電子倍增管將信號放大，進入多通道分析器(MCA )進行分析。

11檢測方式有模擬計數和脈沖計數兩種。